细密电子厂无尘室有一级、十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级之分，在细密电子厂净化妆修设计应凭证在知足电子产品生产要求的条件下合理举行无尘室厂房的装修工程生产装备结构，合理确定种种公用动力设施的手艺参数，做到能量消耗少、运行用度低、生产效率高和建设投资 。同时还需要合理举行人流蹊径、物料运输和仓储设施的设置和安排，知足电子产品无尘室厂房的装修工程生产要求和产品生产工艺要求 。别的还应该尽可能提升生产装备的自动化水平和物料运输的自动化水平，在经济、适用、清静可靠的条件下提高生产效率 。
细密电子厂房无尘车间工程设计：
电子类产品更新换代速率较快；以TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)为代表的平板显示器正在取代彩色显像管显示器；盘算机、通讯、消耗电子和汽车电子产品的迅速普及使得种种半导体元器件生产生长十分迅速 。因此电子工厂无尘厂房的设计、制作必需顺应这种快速生长的需要 。从无尘厂房的妄想最先，关于电子工厂无尘厂房的工艺设计、工艺结构应充分思量电子产品生长的无邪性，以知足电子产品生产工艺刷新和扩大生产的需求 。电子无尘厂房形式一样平常有隧道式、开放式、岛形安排等 。据视察批注，集成电路芯片制造用无尘室厂房的装修工程一样平常接纳隧道式和开放式，其中隧道式清洁室主要用于5英寸、6英寸芯片制造厂，生产装备横跨清洁生产区和装备维护区，清洁生产区对清洁度要求严酷，而装备维护区的空气清洁度品级相对较低 。
细密电子无尘车间凭证差别级别空气清洁度的空气过滤器的选用、安排要点：关于三十万级空气净化处置惩罚，可接纳亚高效过滤器取代高效过滤器；空气清洁度百级、千级、万级及十万级的空气净化处置惩罚，应接纳初、中、高效三级过滤器；中效或高效空气过滤器宜按小于或即是额定风量选用；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调理的正压段；高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调理系统的最后 。
细密电子无尘车间情形参数：
温湿度要求：，相对湿度为55+5% 。
新风量大：由于这类净化无尘车间内职员较量多，可以凭证以下数值应取下列的*大值：非单向流净化无尘室车间总送风量的10-30%，赔偿室内排风和坚持室内正压值所需的新鲜空宇量，包管室内每人每小时的新鲜空宇量≥40m3/h 。
送风量大：为了知足细密电子无尘净化车间内的清洁度及热湿平衡，需要较大的送风量，例如300平方米的车间，吊顶高度为2.5米，若是是千级净化无尘车间，送风量就需要300×2.5×30=22500m?/h的送风量(换气次数，是≥25次/h) 。
压差：主车间对相邻房间≥5Pa
换气次数：百级：断面风速0.3-0.5m/s，千级清洁车间50－52次/小时；万级净化车间15－25次/小时；十万级无尘车间10－15次/小时 。
压差：主车间对相邻房间≥5Pa 。
温度:冬季＞16℃±2℃；夏日 ＜26℃±2℃；温度一样平常为23+2℃
相对湿度：45－65％（RH） 。
噪声≤65dB（A） 。
新风增补量：总送风量的20％－30％ 。
照度：≥300Lux 。
